當(dāng)今市場(chǎng)上的大多數(shù)非接觸式激光三角位移傳感器都使用相同的測(cè)量原理,即激光三角測(cè)量技術(shù),將目標(biāo)距離轉(zhuǎn)換為輸出信號(hào)。然而,傳感器機(jī)械、光學(xué)、機(jī)械穩(wěn)定性和信號(hào)處理算法的個(gè)性化設(shè)計(jì)可能因供應(yīng)商而異。
有許多因素在確定實(shí)際激光傳感器精度方面都起著重要作用。因此,不僅要了解這些因素以及它們?cè)诙啻蟪潭壬嫌绊憘鞲衅骶?,而且還要了解傳感器供應(yīng)商最近開發(fā)的創(chuàng)新技術(shù),以幫助克服這些潛在錯(cuò)誤,這一點(diǎn)至關(guān)重要。
目標(biāo)光學(xué)特性的動(dòng)態(tài)變化
現(xiàn)在可以實(shí)時(shí)補(bǔ)償從目標(biāo)表面接收到的反射光從不斷變化的表面進(jìn)入激光的變化。對(duì)于每個(gè)測(cè)量值,曝光時(shí)間或激光產(chǎn)生的光量可以與目標(biāo)表面的反射特性進(jìn)行最佳匹配,而無需應(yīng)用任何平均濾波器。這導(dǎo)致曝光與被測(cè)量的表面條件完美匹配,從而產(chǎn)生穩(wěn)定和正確的測(cè)量值。然而,并非所有傳感器供應(yīng)商都能提供這種自動(dòng)實(shí)時(shí)表面補(bǔ)償功能,從而導(dǎo)致輸出測(cè)量值出現(xiàn)錯(cuò)誤。
標(biāo)準(zhǔn)的市售激光三角位移傳感器通常采用時(shí)移控制進(jìn)行操作,該控制對(duì)從先前測(cè)量周期接收到的強(qiáng)度值進(jìn)行操作。在這種情況下,來自先前測(cè)量的反射量(通常為3到5)被平均,然后用于預(yù)測(cè)下一次測(cè)量所需的激光強(qiáng)度量。對(duì)于變化的或有紋理的表面,這種表面補(bǔ)償方法產(chǎn)生的測(cè)量值與實(shí)際測(cè)量值明顯不同。
優(yōu)化表面粗糙度
在表面有微小微加工痕跡的閃亮金屬或加工表面上進(jìn)行測(cè)量時(shí),不建議使用小的激光光斑。這是因?yàn)槲⒓庸け砻嫣卣鲿?huì)使來自小點(diǎn)的反射光失真,從而導(dǎo)致測(cè)量信號(hào)嘈雜或不穩(wěn)定??朔@個(gè)問題的一個(gè)解決方案是生產(chǎn)具有不同光斑幾何形狀的激光位移傳感器。簡(jiǎn)單地移動(dòng)到更大的激光光斑可能會(huì)克服上述一些問題,但這會(huì)產(chǎn)生降低傳感器分辨率的不利影響。通常,具有大光斑的激光傳感器具有較大的測(cè)量范圍,這會(huì)導(dǎo)致較大的線性誤差。
因此,一些激光傳感器制造商制造了具有僅幾毫米寬的短“激光線”光斑的高分辨率激光傳感器。結(jié)合特定的軟件算法,這種組合可以極好地濾除亞微米范圍內(nèi)由表面粗糙度、缺陷、壓痕或孔洞引起的任何干擾,尤其是在拋光金屬上。
此外,這些類型的傳感器非常適合在結(jié)構(gòu)化表面上進(jìn)行測(cè)量,其中需要測(cè)量到表面的距離而不是結(jié)構(gòu)本身,即距離測(cè)量不應(yīng)受表面結(jié)構(gòu)的影響,而應(yīng)提供與目標(biāo)的距離的恒定、可靠值。